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公开(公告)号：CN107024274A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610067096.2
申请日：2016-01-29
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01J4/00
CPC classification number: G01J4/00
Abstract: 本发明提供一种适用于光配向设备的检偏方法，将进行对消光比和偏振方向进行初次检测后，进行复检，在初次检测的偏振方向旋转45°，在其附近进行滑动窗口取值，并进行曲线拟合，直至找出随着角度的变化，光强相对于角度的斜率变化最大的角度，再补偿45°后即为精确的偏振方向。这种检测方法，在进行初次检测后，就无需再寻找多个采样点进行反复试验，而是使用计算机曲线拟合的方式，简化了测量方法，同时进行滑动窗口取值，在每个窗口的中心点进行斜率计算，找出斜率变化最大的点所对应的角度，这种滑动窗口取值能够提升测量精度，弱化了噪声的干扰对测量的影响。
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