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公开(公告)号：CN114755535A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210219406.3
申请日：2022-03-02
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法，在传统石英膜片的基础上，利用光刻与氢氟酸腐蚀技术制备得到双面凹槽型的石英膜片，减小了石英膜片的中心厚度，石英膜片在受到超声波作用时能够产生更大的形变量，传感器对局部放电信号的捕捉更敏感和精确，提高了传感器灵敏度的同时也提高了膜片的固有频率，增加了传感器的频率探测范围；同时石英膜片上设置的多个矩形凹槽连通了法布里珀罗腔内外的空气，避免了温度升高后腔内气体膨胀导致的传感器测量误差；也便于外部环境气体进入法布里珀罗腔内，可以利用不同气体折射率变化判断环境气体变化，实现双参量传感；整个装置的结构简单，整体稳定性好，使用周期长，制造成本低廉，适于实用。
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