-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115327876B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210922470.8
申请日：2022-08-02
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种采用LED部分相干光的反射式离轴数字全息微纳测量系统，属于光学显微测量技术领域。光源发生及准直模块用于发出部分LED光，并进行滤光与准直；偏振测量模块用于得到相互垂直的两个不同偏振方向的物光和参考光；光栅物参光光栅衍射分离模块用于将物光及参考光进行衍射，得到不同衍射级次的衍射光；空间偏振滤波模块用于将衍射光偏振滤波，得到偏振的零级物光及正一级参考光；偏振干涉模块用于将来自偏振空间滤波模块的物光及参考光进行干涉；图像采集模块用于采集干涉条纹，得到全息图。本系统可以很好地抑制传统高相干光源生成全息图的相干噪声等的影响，减小相位噪声，提高生成全息图的质量，增加测量结果的准确性。
-
公开(公告)号：CN113808189B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202110994406.6
申请日：2021-08-27
Applicant: 上海大学
IPC: G06T7/60 , G06V10/762
Abstract: 本发明公开了一种基于迭代K‑means算法的微结构台阶高精度表征方法，其步骤包括：首先，将通过白光干涉获得的台阶高度测量数据进行维度重构，将复杂的多维面型数据降维至二维空间；基于K‑means聚类算法和数据映射，识别与去除离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为所求台阶高度值；最后，通过迭代收敛设计，进一步提高算法表征结果的准确度和鲁棒性，完成台阶高度参数表征。将聚类分析算法应用到台阶高度计量领域，利用基于K‑means算法的质心距离计算及数据映射，提高了台阶高度表征效率的同时对表面实测数据中的离群值与未测点进行识别与处理，通过应用本算法可以实现台阶高度表征不受离群值的影响，快速准确地获得台阶高度表征值。
-
公开(公告)号：CN113808189A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110994406.6
申请日：2021-08-27
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于迭代K‑means算法的微结构台阶高精度表征方法，其步骤包括：首先，将通过白光干涉获得的台阶高度测量数据进行维度重构，将复杂的多维面型数据降维至二维空间；基于K‑means聚类算法和数据映射，识别与去除离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为所求台阶高度值；最后，通过迭代收敛设计，进一步提高算法表征结果的准确度和鲁棒性，完成台阶高度参数表征。将聚类分析算法应用到台阶高度计量领域，利用基于K‑means算法的质心距离计算及数据映射，提高了台阶高度表征效率的同时对表面实测数据中的离群值与未测点进行识别与处理，通过应用本算法可以实现台阶高度表征不受离群值的影响，快速准确地获得台阶高度表征值。
-
公开(公告)号：CN115327876A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210922470.8
申请日：2022-08-02
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种采用LED部分相干光的反射式离轴数字全息微纳测量系统，属于光学显微测量技术领域。光源发生及准直模块用于发出部分LED光，并进行滤光与准直；偏振测量模块用于得到相互垂直的两个不同偏振方向的物光和参考光；光栅物参光光栅衍射分离模块用于将物光及参考光进行衍射，得到不同衍射级次的衍射光；空间偏振滤波模块用于将衍射光偏振滤波，得到偏振的零级物光及正一级参考光；偏振干涉模块用于将来自偏振空间滤波模块的物光及参考光进行干涉；图像采集模块用于采集干涉条纹，得到全息图。本系统可以很好地抑制传统高相干光源生成全息图的相干噪声等的影响，减小相位噪声，提高生成全息图的质量，增加测量结果的准确性。
-
公开(公告)号：CN115060173A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210767011.7
申请日：2022-06-30
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种复杂微结构表面台阶高度或沟槽深度不确定度快速评估方法，属于光学测量技术领域。本发明通过获取集成电路复杂微结构表面中台阶或沟槽的三维形貌原始测量数据，降维后得到以X、Y平面的有效三维形貌矩阵Zm，并分解为重构矩阵A和B，对应行的数据点组成点阵；对点阵中的对应行的数据点聚类后的质心距离转化为台阶高度或沟槽深度值；遍历所有行数据，将台阶高度或沟槽深度值的均值作为关键尺寸表征结果，均方差值作为标准不确定度；对所有行数据的表征值升序排列，取95％置信区间的上下限作为关键尺寸不确定度分布范围。本发明通过一次测量，可以实现复杂微结构表面所有点的台阶高度或沟槽深度表征，同时可实现不确定度评定。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.014 seconds)
