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公开(公告)号:CN118075966A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202310660379.8
申请日:2023-06-06
Applicant: 上海大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 一种可灵活调节的介质阻挡放电等离子体射流装置,包括柔性绝缘介质管、供电电源、电极线、绝缘介质屏障;柔性绝缘介质管的轴心开有通孔,通孔作为介质腔;介质腔的一端为载气进口,另一端为等离子体喷射出口;柔性绝缘介质管的内、外壁之间有两条相互平行的螺旋线槽,每条螺旋线槽中分别缠绕一根电极线作为放电电极;所供电电源分别为两个放电电极供电;绝缘介质屏障为绝缘介质管的最外层。本发明避免了电击的可能,提供了日常所需的安全操作条件和设备的灵活性,可以实现在材料表面处理、医学和微电子制造等多领域的常态化应用;增大了放电面积,提高了放电性能和放电效率,避免了放电不稳定现象,为相关装置稳定可靠工作起到了有利技术支持。
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公开(公告)号:CN114582702A
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202210209300.5
申请日:2022-03-04
Applicant: 上海大学
IPC: H01J49/06
Abstract: 本发明提供了一种分段驱动离子漏斗的装置,该装置包括交流电源、直流电源和离子漏斗装置;离子漏斗装置包括2N+3片同轴等间距堆叠的环形电极,前2N片环形电极被依次等分成X组电极组,X≥2且N是X的整数倍;交流电源包括X路输出,且交流电源的第1路输出至第X路输出分别一一对应的为离子漏斗装置的第1组电极组至第X组电极组供电;直流电源包括5路输出,直流电源的第1路输出和第2路输出分别对应施加在离子漏斗装置的第1片和第2N片环形电极上,第3路输出至第5路输出分别对应施加在离子漏斗的第2N+1片环形电极至第2N+3片环形电极上。本装置能有效解决现有技术中固有电容值偏大的问题,利于离子漏斗在质谱仪器中的应用。
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