公开(公告)号：CN104600162B

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201410112151.6

申请日：2014-03-24

申请人： 上海卓霖半导体科技有限公司

发明人： 蔡卓然 ,  高海 ,  刘智 ,  尹祥麟 ,  刘正伟 ,  张欣瑶 ,  周环宇

IPC分类号： H01L33/02 ,  H01L33/00

CPC分类号： H01L33/12 ,  C30B11/14 ,  C30B23/025 ,  C30B25/18 ,  C30B25/183 ,  C30B25/186 ,  C30B29/403 ,  C30B29/406 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L33/007 ,  H01L33/04 ,  H01L33/16 ,  H01L33/32

摘要： 本发明公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，包括如下步骤：a)采用LAO衬底，选取晶体取向，并对LAO衬底进行表面清洁处理；b)对LAO衬底进行退火处理，并在LAO衬底表面形成AlN籽晶层；c)在LAO衬底上采用金属有机化合物化学气相淀积依次形成非极性m面GaN缓冲层、非极性非掺杂u‐GaN层、非极性n型掺杂GaN薄膜、非极性InGaN/GaN量子阱、非极性m面AlGaN电子阻挡层和非极性p型掺杂GaN薄膜。本发明提供的基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，具有缺陷密度低、结晶质量好，发光性能好的优点，且制备成本低廉。