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公开(公告)号：CN109338456A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811464247.3
申请日：2018-12-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于数值模拟与神经网络判断的单晶制品生产智能控制技术，单晶生长终端、数据库集群和远程运维中心通过互联网连接在一起；服务器集群包括应用服务器、上载管理服务器、数据库服务器、计算服务器；单晶生长终端主要包括单晶炉、真空测量、液位测量、温度测量等监测手段、以及远程客户终端，远程客户终端可通过网络连接向数据库集群上传单晶生长终端的运行状态，并下载新材料的单晶生长工艺；远程运维中心主要包括一个远程运维终端、远程计算中心和单晶生长优化系统，远程运维中心主要监控单晶生长设备的运行状态，远程计算中心主要建立单晶生长智能预测模型，单晶生长优化系统可以对单晶生长智能预测模型修正和优化。
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