公开(公告)号：CN104165595B

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201410401098.1

申请日：2014-08-14

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 时轮 ,  陈家宝

IPC: G01B11/04

Abstract: 一种仪器及其部件的位置或状态的调整领域的基于条纹相移与条纹细分联合控制的超精密位移定位检测方法，首先对线性位移平台进行粗定位，当光栅定位距离小于光栅干涉仪参考光栅的光栅常数时，将干涉条纹相移，然后对条纹信号进行细分处理，当线性位移平台运动到预定的条纹细分结束区间时停止运动，实现微定位。本发明通过干涉条纹的相移提高检测分辨率，通过低倍数的条纹细分完成模拟量检测的反馈控制，进而实现超精密的位移定位检测控制。

公开(公告)号：CN104165595A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201410401098.1

申请日：2014-08-14

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 时轮 ,  陈家宝

IPC: G01B11/04

Abstract: 一种仪器及其部件的位置或状态的调整领域的基于条纹相移与条纹细分联合控制的超精密位移定位检测方法，首先对线性位移平台进行粗定位，当光栅定位距离小于光栅干涉仪参考光栅的光栅常数时，将干涉条纹相移，然后对条纹信号进行细分处理，当线性位移平台运动到预定的条纹细分结束区间时停止运动，实现微定位。本发明通过干涉条纹的相移提高检测分辨率，通过低倍数的条纹细分完成模拟量检测的反馈控制，进而实现超精密的位移定位检测控制。