公开(公告)号：CN113215544B

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN202110476304.5

申请日：2021-04-29

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方浩澜 ,  陈娟 ,  彭立明 ,  刘峻嘉 ,  申炜 ,  王廷炎 ,  陈炎 ,  崔元勋 ,  董泽麟 ,  管颖添 ,  邓南香 ,  丁文江

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/18 ,  C23C14/20 ,  C23C14/16 ,  C23C16/30 ,  C23C16/50 ,  C23C28/00

Abstract: 本发明公开了一种氟碳/钯/镁‑钪的氢致变色薄膜及其制备方法，所述薄膜包括依次设置在基底上的镁‑钪复合膜层，钯催化层和氟碳膜层。其制备方法为先在基底上生长镁‑钪复合膜层，随后在镁‑钪层上原位生长钯催化层，最后在Pd上沉积氟碳膜层。本发明利用钯的催化效应，在吸氢和脱氢阶段，促进氢气与氢原子之间的可逆转换，添加复合钪元素以加速氢原子在镁基体中的扩散，加快氢化物的形成与分解，以使薄膜可在反射态和透明态之间反复快速切换，同时提升膜层的吸放氢循环耐久性。整个反应过程在室温下即可实现。该调光薄膜吸氢响应、脱氢恢复时间短，循环性能好，工艺简单，在氢气传感领域具有重要的应用前景。

公开(公告)号：CN113215544A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110476304.5

申请日：2021-04-29

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方浩澜 ,  陈娟 ,  彭立明 ,  刘峻嘉 ,  申炜 ,  王廷炎 ,  陈炎 ,  崔元勋 ,  董泽麟 ,  管颖添 ,  邓南香 ,  丁文江

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/18 ,  C23C14/20 ,  C23C14/16 ,  C23C16/30 ,  C23C16/50 ,  C23C28/00

Abstract: 本发明公开了一种氟碳/钯/镁‑钪的氢致变色薄膜及其制备方法，所述薄膜包括依次设置在基底上的镁‑钪复合膜层，钯催化层和氟碳膜层。其制备方法为先在基底上生长镁‑钪复合膜层，随后在镁‑钪层上原位生长钯催化层，最后在Pd上沉积氟碳膜层。本发明利用钯的催化效应，在吸氢和脱氢阶段，促进氢气与氢原子之间的可逆转换，添加复合钪元素以加速氢原子在镁基体中的扩散，加快氢化物的形成与分解，以使薄膜可在反射态和透明态之间反复快速切换，同时提升膜层的吸放氢循环耐久性。整个反应过程在室温下即可实现。该调光薄膜吸氢响应、脱氢恢复时间短，循环性能好，工艺简单，在氢气传感领域具有重要的应用前景。