公开(公告)号：CN108383075B

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201810053477.4

申请日：2018-01-19

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 刘景全 ,  唐龙军 ,  洪雯 ,  孙文熙 ,  杨斌 ,  陈翔 ,  王晓林

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  A61B5/00 ,  A61B5/0215

Abstract: 本发明涉及一种柔性的MEMS双电层电容压力传感器及其制备方法，所述传感器包括微腔体，测量电极，参考电极，引出线，所述参考电极或所述测量电极与所述电解质溶液接触表面的正负离子层形成的电容即称为双电层电容，所述电解质溶液与所述测量电极接触面积变化即双电层电容值变化。利用双电层电容测量液体环境的压力值及改变量；液体环境压力发生变化时，进入微腔体内的电解质溶液体积随微腔体内微气泡体积变化而变化，测得进入微腔体内电解质溶液体积变化即可求得环境压力。本发明结构紧凑、尺寸小、灵敏度高、工艺简单且生物兼容性良好，可用于植入体内的压力测量。

公开(公告)号：CN108383075A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810053477.4

申请日：2018-01-19

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 刘景全 ,  唐龙军 ,  洪雯 ,  孙文熙 ,  杨斌 ,  陈翔 ,  王晓林

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  A61B5/00 ,  A61B5/0215

Abstract: 本发明涉及一种柔性的MEMS双电层电容压力传感器及其制备方法，所述传感器包括微腔体，测量电极，参考电极，引出线，所述参考电极或所述测量电极与所述电解质溶液接触表面的正负离子层形成的电容即称为双电层电容，所述电解质溶液与所述测量电极接触面积变化即双电层电容值变化。利用双电层电容测量液体环境的压力值及改变量；液体环境压力发生变化时，进入微腔体内的电解质溶液体积随微腔体内微气泡体积变化而变化，测得进入微腔体内电解质溶液体积变化即可求得环境压力。本发明结构紧凑、尺寸小、灵敏度高、工艺简单且生物兼容性良好，可用于植入体内的压力测量。