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公开(公告)号：CN101814701A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN201010186102.9
申请日：2010-05-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电工程技术领域的微型平面式气体火花隙开关，包括：绝缘衬底、正电极、第一负电极、第二负电极、触发电极、正电极连接单元、负电极连接单元和触发电极连接单元，其中：触发电极位于第一负电极和第二负电极中间或者是位于正电极与负电极的中间，第一负电极和第二负电极镜像放置，正电极连接单元与正电极相连，负电极连接单元分别与第一负电极和第二负电极相连，触发电极连接单元与触发电极相连，正电极分别与第一负电极和第二负电极相对放置。本发明广泛可应用于各种脉冲电流的场合，实现了微米级的电极间距，缩短了触发时间，实现纳秒级的快速触发，并增强了输出的脉冲电流的电流值；实现批量化的生产制作，极大地降低生产成本。
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公开(公告)号：CN101699604B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200910309574.6
申请日：2009-11-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01H35/14
Abstract: 本发明公开了一种微机电工程技术领域的常闭式微机械惯性电学开关，包括：绝缘衬底、连体蛇形弹簧、支撑层、固定接触电极、弹簧支撑座、质量块电极以及弹簧间连体，其中：固定接触电极和支撑层都位于绝缘衬底上；质量块电极位于固定接触电极的上方，与固定接触电极相接触；弹簧支撑座固定于绝缘衬底上，位于支撑层的两侧；连体蛇形弹簧位于支撑层上方，连体蛇形弹簧一端与弹簧支撑座相连，另一端与质量块电极相连；弹簧间连体位于连体蛇形弹簧中间，与两侧的连体蛇形弹簧分别相连。本发明有效改善了质量块电极与固定接触电极的接触效果，并且在外界冲击加速度下质量块电极不会与弹簧支撑座发生剧烈碰撞，有效防止了器件的损毁。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102290708B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110110265.3
申请日：2011-04-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: H03K17/945
Abstract: 一种微机电系统技术领域的MEMS可动电极式火花隙开关，包括：可动电极、固定电极、微驱动结构和绝缘衬底，其中：可动电极和固定电极均与绝缘衬底固定连接，微驱动结构与绝缘衬底、可动电极或者分别与绝缘衬底和可动电极固定连接，固定电极与可动电极相对放置且均设置于绝缘衬底的同一侧。本发明所需的工作能量小，能够减小对微驱动结构触发电容的能量要求，触发电容体积能够大幅度减小，从而降低使用成本和系统体积，便于一体化集成。
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公开(公告)号：CN102290708A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110110265.3
申请日：2011-04-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01T1/22
Abstract: 一种微机电系统技术领域的MEMS可动电极式火花隙开关，包括：可动电极、固定电极、微驱动结构和绝缘衬底，其中：可动电极和固定电极均与绝缘衬底固定连接，微驱动结构与绝缘衬底、可动电极或者分别与绝缘衬底和可动电极固定连接，固定电极与可动电极相对放置且均设置于绝缘衬底的同一侧。本发明所需的工作能量小，能够减小对微驱动结构触发电容的能量要求，触发电容体积能够大幅度减小，从而降低使用成本和系统体积，便于一体化集成。
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公开(公告)号：CN101870446B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010214415.0
申请日：2010-06-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的多通道碳纳米管传感器及其制备方法，包括：基片、金属下电极、碳纳米管和金属上电极，其中：基片位于整体结构的最底端，金属下电极位于基片之上，若干根碳纳米管呈垂直分布形成阵列且两端分别与金属下电极和金属上电极相连接形成碳纳米管导电通道，金属下电极、碳纳米管导电通道和金属上电极构成若干个串联单元结构。本发明制备所得传感器能够实现上下集成，与IC集成电路兼容，可以制造阵列传感器，实现器件的多样化和集成化制造。
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公开(公告)号：CN101870446A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010214415.0
申请日：2010-06-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的多通道碳纳米管传感器及其制备方法，包括：基片、金属下电极、碳纳米管和金属上电极，其中：基片位于整体结构的最底端，金属下电极位于基片之上，若干根碳纳米管呈垂直分布形成阵列且两端分别与金属下电极和金属上电极相连接形成碳纳米管导电通道，金属下电极、碳纳米管导电通道和金属上电极构成若干个串联单元结构。本发明制备所得传感器能够实现上下集成，与IC集成电路兼容，可以制造阵列传感器，实现器件的多样化和集成化制造。
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公开(公告)号：CN101699604A
公开(公告)日：2010-04-28
申请号：CN200910309574.6
申请日：2009-11-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01H35/14
Abstract: 本发明公开了一种微机电工程技术领域的常闭式微机械惯性电学开关，包括：绝缘衬底、连体蛇形弹簧、支撑层、固定接触电极、弹簧支撑座、质量块电极以及弹簧间连体，其中：固定接触电极和支撑层都位于绝缘衬底上；质量块电极位于固定接触电极的上方，与固定接触电极相接触；弹簧支撑座固定于绝缘衬底上，位于支撑层的两侧；连体蛇形弹簧位于支撑层上方，连体蛇形弹簧一端与弹簧支撑座相连，另一端与质量块电极相连；弹簧间连体位于连体蛇形弹簧中间，与两侧的连体蛇形弹簧分别相连。本发明有效改善了质量块电极与固定接触电极的接触效果，并且在外界冲击加速度下质量块电极不会与弹簧支撑座发生剧烈碰撞，有效防止了器件的损毁。
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