-
公开(公告)号：CN1167515C
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN02150786.4
申请日：2002-11-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置属于太阳能应用领域。完成加热过程和喷涂过程的主单元、完成退火功能的辅助单元、具有预加热功能的辅助单元依次并列或L形排列，具有预加热功能的辅助单元位于完成加热过程和喷涂过程的主单元一侧，完成退火功能的辅助单元位于完成加热过程和喷涂过程的主单元的另一侧，由机械手完成玻璃衬底在各单元之间的传输，主单元包括：衬底加温部分、喷头部分，这两部分是相互分离的。采用本发明得到的SnO2透明导电薄膜的方块电阻可达4Ω/□，透过率达90%，薄膜中心和边缘的膜厚、电学性质不均匀度小于10%，采用衬底加温部分与喷头部分(二)配合的装置可获得膜厚、电学性质不均匀度小于5%的超均匀的透明导电薄膜。
-
公开(公告)号：CN1415427A
公开(公告)日：2003-05-07
申请号：CN02150786.4
申请日：2002-11-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置属于太阳能应用领域。完成加热过程和喷涂过程的主单元、完成退火功能的辅助单元、具有预加热功能的辅助单元依次并列或L形排列，具有预加热功能的辅助单元位于完成加热过程和喷涂过程的主单元一侧，完成退火功能的辅助单元位于完成加热过程和喷涂过程的主单元的另一侧，由机械手完成玻璃衬底在各单元之间的传输，主单元包括：衬底加温部分、喷头部分，这两部分是相互分离的。采用本发明得到的SnO2透明导电薄膜的方块电阻可达4Ω/口，透过率达90％，薄膜中心和边缘的膜厚、电学性质不均匀度小于10％，采用衬底加温部分与喷头部分(二)配合的装置可获得膜厚、电学性质不均匀度小于5％的超均匀的透明导电薄膜。
-
Search Results
2
records
(took 0.013 seconds)
