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发明公开
图案结构体无效

公开(公告)号：CN106469642A

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201510507360.5

申请日：2015-08-18

Applicant: 三菱铅笔株式会社

Inventor： 冈本公康 , 伊藤浩之 , 市川秀寿 , 泷川诚一

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02104

Abstract: 本发明提供一种图案结构体(100)。该图案结构体(100)包括基材(10)和利用原子层沉积法在基材(10)的表面(10S)之上形成的图案膜(10S)倾斜且朝向与基材(10)的表面(10S)的法线方向相交叉的方向(A)突出的端部(14A)。(14)。图案膜(14)包括相对于基材(10)的表面

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