公开(公告)号：CN1200563A

公开(公告)日：1998-12-02

申请号：CN98104249.X

申请日：1998-01-16

Applicant: 菱电半导体系统工程株式会社 ,  三菱电机株式会社

Inventor： 松本晓典 ,  黑田健 ,  伴功二 ,  小西瞳子 ,  横井直树

IPC: H01L21/304 ,  F26B19/00

CPC classification number: H01L21/67034

Abstract: 将氮气供给喷嘴34,产生通过喷气孔35喷出的氮气的喷射气流36。喷射气流36呈膜状,沿处理槽11的侧壁的内侧表面上升,然后通过在处理槽11的上部形成的吸气口33,到达外部被收回。由于处理槽11的侧壁的内侧表面被喷射气流36覆盖,所以能抑制IPA蒸汽在该内侧表面上的无用的冷凝。其结果,IPA蒸汽能被有效地用于放置在托盘6上的处理对象表面上的冷凝,所以能抑制处理对象的干燥不良。

公开(公告)号：CN1200562A

公开(公告)日：1998-12-02

申请号：CN97125554.7

申请日：1997-12-15

Applicant: 三菱电机株式会社 ,  菱电半导体系统工程株式会社

Inventor： 松本晓典 ,  黑田健 ,  伴功二 ,  小西瞳子 ,  横井直树

IPC: H01L21/30 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02052 ,  H01L21/67034

Abstract: 本发明的目的是抑制处理对象的干燥不良现象。向喷嘴34提供IPA液,IPA液通过流出孔35流出而形成IPA液的流体29。流体29以膜状的形式沿处理槽11侧壁的内侧表面流下,之后,通过在处理槽11下部形成的液体接收部36排向外部。由于处理槽11侧壁的内侧表面被IPA液的流体29覆盖,所以,抑制了IPA蒸汽在该内侧表面上无用的凝结。因此,可有效利用IPA蒸汽在置于接受器皿6上的处理对象表面凝结,从而抑制处理对象的干燥不良。

公开(公告)号：CN1195763A

公开(公告)日：1998-10-14

申请号：CN97123190.7

申请日：1997-11-24

Applicant: 菱电半导体系统工程株式会社 ,  三菱电机株式会社

Inventor： 松本晓典 ,  黑田健 ,  伴功二 ,  小西瞳子 ,  横井直树

IPC: F26B11/00

CPC classification number: H01L21/67034

Abstract: 本发明的目的是使IPA蒸汽的状态稳定,缓解甚至消除干燥不良现象。在设于处理槽(11)上方的开口部(22)两侧相对设置喷嘴(13)以及排气件(14)。处理槽(11)的侧壁随着从下方附近接近开口部(22)而向内侧圆滑弯曲。喷嘴(13)将氮气供给装置提供的氮气喷向排气件(14)的排气口,并形成覆盖开口部(22)的喷流(21)。由于处理槽(11)的侧壁弯曲,喷流(21)可有效发挥屏障的功能。所以,不再需要传统装置上必需的冷却蛇形管。因此,消除了因冷却蛇形管而引起的IPA蒸汽(5)状态的不稳定性。