公开(公告)号：CN110531226B

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN201910415091.8

申请日：2019-05-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 上田哲也 ,  鲛岛一树 ,  盐田裕基

IPC: G01R31/12

Abstract: 本发明的目的在于提供适于低成本化的绝缘基板的检查方法和检查装置。其特征在于具备如下步骤：使下部电极(23)与绝缘基板(12)的下部金属(15)接触，使上部电极(22)与上部金属(13)接触，该绝缘基板(12)具有绝缘层(14)、与该绝缘层(14)的下表面相接的该下部金属(15)以及与该绝缘层(14)的上表面相接的该上部金属(13)；以及对该下部电极(23)和该上部电极(22)施加交流电压，对由该绝缘层(14)的缺陷产生的电磁波进行检测。

公开(公告)号：CN110531226A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201910415091.8

申请日：2019-05-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 上田哲也 ,  鲛岛一树 ,  盐田裕基

IPC: G01R31/12

Abstract: 本发明的目的在于提供适于低成本化的绝缘基板的检查方法和检查装置。其特征在于具备如下步骤：使下部电极(23)与绝缘基板(12)的下部金属(15)接触，使上部电极(22)与上部金属(13)接触，该绝缘基板(12)具有绝缘层(14)、与该绝缘层(14)的下表面相接的该下部金属(15)以及与该绝缘层(14)的上表面相接的该上部金属(13)；以及对该下部电极(23)和该上部电极(22)施加交流电压，对由该绝缘层(14)的缺陷产生的电磁波进行检测。