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1.

发明公开
激光加工装置失效

公开(公告)号：CN1440320A

公开(公告)日：2003-09-03

申请号：CN01812408.9

申请日：2001-05-23

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 金原好秀 , 桜井一男 , 猪飼良博 , 森高明

IPC: B23K26/04 , G01B7/14

CPC classification number: G01B7/14 , B23K26/04

Abstract: 在激光加工位置的邻近设置吸附用电极(17)，同时在该吸附用电极(17)的外周部设置静电电容检测用电极(18)，在前记吸附用电极(17)与被加工物(15)之间施加电压的状态下，检测前记静电电容检测用电极(18)与被加工物(15)之间的静电电容(C)，根据该检测的静电电容(C)控制激光(12)的焦点位置(12a)。

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