公开(公告)号：CN112352469A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201880094979.X

申请日：2018-07-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 末延博 ,  山浦真悟 ,  田中泰 ,  泷川道生

IPC: H05B6/74 ,  H05B6/64

Abstract: 具备配置在加热室(1)的壁面并向加热室(1)内放射微波的放射元件(3)、在内部密闭有气体(41)并在两端部具有电极(42)的中空电介质构件(4)以及具有等离子体控制部(101)和电流调整部(102)的控制部(100)，所述等离子体控制部(101)控制中空电介质构件(4)的状态，所述电流调整部(102)与中空电介质构件(4)的电极(42)连接并基于等离子体控制部(101)的控制调整向电极(42)施加的电流，沿着配置有放射元件(3)的壁面以外的壁面配置有至少1个以上中空电介质构件(4)，等离子体控制部(101)将中空电介质构件(4)的状态控制为气体反射微波的等离子状态、气体吸收微波的等离子状态及气体使微波透射的气体状态中的任一种状态。

公开(公告)号：CN112352469B

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN201880094979.X

申请日：2018-07-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 末延博 ,  山浦真悟 ,  田中泰 ,  泷川道生

IPC: H05B6/74 ,  H05B6/64

Abstract: 具备配置在加热室(1)的壁面并向加热室(1)内放射微波的放射元件(3)、在内部密闭有气体(41)并在两端部具有电极(42)的中空电介质构件(4)以及具有等离子体控制部(101)和电流调整部(102)的控制部(100)，所述等离子体控制部(101)控制中空电介质构件(4)的状态，所述电流调整部(102)与中空电介质构件(4)的电极(42)连接并基于等离子体控制部(101)的控制调整向电极(42)施加的电流，沿着配置有放射元件(3)的壁面以外的壁面配置有至少1个以上中空电介质构件(4)，等离子体控制部(101)将中空电介质构件(4)的状态控制为气体反射微波的等离子状态、气体吸收微波的等离子状态及气体使微波透射的气体状态中的任一种状态。