-
公开(公告)号:CN119586078A
公开(公告)日:2025-03-07
申请号:CN202280097734.9
申请日:2022-10-14
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 半导体制造系统中的数据收集装置(10)经由工业用网络(例如CC‑Link IE TSN(三菱电机商标)、TSN网络)而与按照控制指令动作的多个被控制仪器连接。数据收集装置(10)具有:主通信单元(13),其在每个通信周期中接收表示各个被控制仪器的运转状态的运转数据;创建部(120),其创建具有第1轴和与通信周期的列表对应的第2轴的多维数据库,该第1轴与为了管理多个被控制仪器而附加于各个被控制仪器的标签的列表对应;以及追加部(130),其将由主通信单元(13)接收到的运转数据与由该运转数据示出运转状态的被控制仪器的标签对应地在每个通信周期中沿着第2轴追加至数据库(40)。