公开(公告)号：CN100406840C

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200510022847.0

申请日：2005-12-12

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岩田高明 ,  土谷和之 ,  大村浩嘉

IPC: G01B7/14

CPC classification number: G01B7/023

Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分进行检波的检波部件(8)，根据由该检波部件(8)检波出的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分，生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此，即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。

公开(公告)号：CN1877245A

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：CN200510022847.0

申请日：2005-12-12

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岩田高明 ,  土谷和之 ,  大村浩嘉

IPC: G01B7/14

CPC classification number: G01B7/023

Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分进行检波的检波部件(8)，根据由该检波部件(8)检波出的频率(f1)的成分和频率(f2)的成分，生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此，即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。