公开(公告)号：CN1287381A

公开(公告)日：2001-03-14

申请号：CN00118744.9

申请日：2000-06-23

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 冈本达树 ,  小川哲也 ,  古田啟介 ,  时冈秀忠 ,  笹川智宏 ,  西前顺一 ,  井上満悍 ,  佐藤行雄

IPC: H01L21/324 ,  C30B33/02

CPC classification number: B23K26/0732 ,  B23K2101/40 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/2026

Abstract: 在激光热处理方法中,提供控制形成高性能薄膜用的激光照射剖面的光学系统。在向形成于基板上的膜上照射长方形束的光学系统中,通过用强度分布成形装置使长度方向的强度分布均匀,短边方向保持振荡激光的定向性等向的结构,能在振荡激光性质限制的界限内进行聚光,在基板上的膜上得到最大限度的强度梯度。因此,可在基板上的膜上形成陡峻的温度分布,其结果,可形成高性能薄膜。