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1.

发明公开
位置检测装置无效

公开(公告)号：CN1260870A

公开(公告)日：2000-07-19

申请号：CN98806141.4

申请日：1998-04-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 佐藤喜充 , 水谷孝夫 , 佐久间浩和 , 冈室贵士 , 大村阳一 , 中岛利郎

IPC: G01B11/00 , G01D5/36

CPC classification number: G01B11/026 , G01D5/30 , G01D5/36

Abstract: 一种具有高分辨率的廉价的位置检测装置。该装置使从光源1射出的光在移动部70(71)被反射后通过第1狭缝带3(3—1、3—2),并在固定部13(130、131)通过第2狭缝带20(20—1、20—2),再根据所获得的莫尔条纹检测移动部70(71)的位置。狭缝带可变短,能低成本构成装置。

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