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发明公开
缺陷检查装置以及缺陷检查方法无效

公开(公告)号：CN110621988A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201880028252.1

申请日：2018-05-11

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 川岛裕史 , 上田高敬 , 江草稔 , 境纪和 , 锦户良太

IPC: G01N25/72 , G01N21/956

Abstract: 目的在于提供一种缺陷检查装置，在通过激光照射来加热作为被检查物的样品(17)并进行检查时，抑制检查区域外的温度上升，提高空洞的检测分辨率。缺陷检查装置具备：载置台(3)，载置样品(17)，该样品(17)包括通过接合材料接合的第一部件(15)和第二部件(16)；激光光源(1)，对第一部件(15)被载置于载置台(3)的样品(17)所包括的第二部件(16)的表面照射激光而加热样品；以及红外线照相机(2)，检测从被激光加热的第二部件(16)的表面辐射的红外线。载置台(3)包括冷却部(3a)，该冷却部(3a)冷却样品(17)所包括的第一部件(15)。

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