公开(公告)号：CN116547327A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202180080165.2

申请日：2021-11-10

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 佐藤由实 ,  宫原大治 ,  梅木美穗

IPC: C08F290/06

Abstract: 一种感光性聚酰亚胺树脂组合物，其包含已闭环聚酰亚胺树脂(A)和多官能自由基聚合性化合物(B)，所述已闭环聚酰亚胺树脂(A)具有下述式(1)所示的结构，且重均分子量为70,000以下，所述多官能自由基聚合性化合物(B)具有4个以上且100个以下的自由基聚合性官能团。

公开(公告)号：CN116507654A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202180080160.X

申请日：2021-11-10

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 梅木美穗 ,  佐藤由实 ,  宫原大治

IPC: C08F290/14

Abstract: 一种感光性聚酰亚胺树脂组合物，其包含已闭环聚酰亚胺树脂(A)和多官能自由基聚合性化合物(B)，所述已闭环聚酰亚胺树脂(A)具有下述式(1)所示的结构，所述多官能自由基聚合性化合物(B)具有自由基聚合性官能团和氧亚烷基，上述多官能自由基聚合性化合物(B)中的上述自由基聚合性官能团的数量为3个以上且100个以下，上述多官能自由基聚合性化合物(B)中的上述氧亚烷基的总加成摩尔数为5以上且100以下。

公开(公告)号：CN114945621A

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202080091971.5

申请日：2020-12-15

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 宫原大治 ,  佐藤由实

IPC: C08G73/10 ,  C08L79/08 ,  G03F7/027

Abstract: 一种改性聚酰亚胺树脂，其包含下述通式(I)所示的结构。一种聚酰亚胺树脂，其包含：源自四羧酸二酐的结构单元A、和源自二胺化合物的结构单元B，前述结构单元A以60摩尔％以上的比率包含源自具有特定结构的化合物的结构单元。

公开(公告)号：CN114945621B

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202080091971.5

申请日：2020-12-15

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 宫原大治 ,  佐藤由实

IPC: C08G73/10 ,  C08L79/08 ,  G03F7/027

Abstract: 一种改性聚酰亚胺树脂，其包含下述通式(I)所示的结构。一种聚酰亚胺树脂，其包含：源自四羧酸二酐的结构单元A、和源自二胺化合物的结构单元B，前述结构单元A以60摩尔％以上的比率包含源自具有特定结构的化合物的结构单元。#imgabs0#

公开(公告)号：CN113892058A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202080039858.2

申请日：2020-05-27

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 佐藤由实 ,  熊野达之 ,  宇多村竜也 ,  宫原大治

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09

Abstract: 提供一种感光性树脂组合物，其中，聚酰亚胺树脂(A)具有特定的结构、且重均分子量为70000以下。

公开(公告)号：CN113892058B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202080039858.2

申请日：2020-05-27

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 佐藤由实 ,  熊野达之 ,  宇多村竜也 ,  宫原大治

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09

Abstract: 提供一种感光性树脂组合物，其中，聚酰亚胺树脂(A)具有特定的结构、且重均分子量为70000以下。

公开(公告)号：CN116490534A

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202180080149.3

申请日：2021-11-10

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 宫原大治 ,  佐藤由实 ,  梅木美穗

IPC: C08F290/06

Abstract: 一种带有图案的基板的制造方法，其包括：在基板上形成由感光性聚酰亚胺树脂组合物形成的膜的工序(a)；对上述膜进行曝光的工序(b)；通过使用显影液对经曝光的上述膜进行显影，从而在上述基板上形成由上述膜形成的图案的工序(c)，上述显影液与曝光前的上述膜的相对能量差(RED)为0.50以上且1.4以下。