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公开(公告)号:CN107111235B
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN201580069400.0
申请日:2015-11-26
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 作为干膜抗蚀剂用保护膜,提供一种脱模性、防静电性、密合性、卷绕特性良好的保护膜、以及叠层有该保护膜的感光性树脂叠层体。该干膜抗蚀剂用保护膜在聚酯膜的单面具有由含有含长链烷基的化合物和防静电剂、以及丙烯酸树脂或聚乙烯醇的涂布液形成的涂布层,该涂布层表面的最大突起高度(Rt)为0.1~1.0μm。感光性树脂叠层体具有在形成于基膜上的感光性树脂层表面叠层有上述保护膜的结构。
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公开(公告)号:CN109789691A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780060353.2
申请日:2017-10-04
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 一种层叠聚酯薄膜,其特征在于,在聚酯薄膜的至少单面具有抗静电层,该抗静电层含有聚噻吩或聚噻吩衍生物,聚酯薄膜的与该抗静电层接触的最表层不含有颗粒。
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公开(公告)号:CN107111235A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580069400.0
申请日:2015-11-26
Applicant: 三菱化学株式会社
Abstract: 作为干膜抗蚀剂用保护膜,提供一种脱模性、防静电性、密合性、卷绕特性良好的保护膜、以及叠层有该保护膜的感光性树脂叠层体。该干膜抗蚀剂用保护膜在聚酯膜的单面具有由含有含长链烷基的化合物和防静电剂、以及丙烯酸树脂或聚乙烯醇的涂布液形成的涂布层,该涂布层表面的最大突起高度(Rt)为0.1~1.0μm。感光性树脂叠层体具有在形成于基膜上的感光性树脂层表面叠层有上述保护膜的结构。
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