检查装置及检查方法、构件的制法及光学薄膜的制法

    公开(公告)号:CN103842803B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201280046980.8

    申请日:2012-09-26

    CPC classification number: G01N21/952 G01N21/956

    Abstract: 本发明提供能够简便地检查阳极氧化铝表面的微细凹凸结构的形状、阳极氧化铝的厚度的检查装置和检查方法等。本发明的阳极氧化铝的检查装置的特征在于,其具备:照射单元(22),对检查对象的阳极氧化铝照射光;摄像单元(24),对通过偏振单元的光进行拍摄;偏振单元(28),使从照射单元照射出的光偏振;以及图像处理单元(26),基于由使用摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断阳极氧化铝的状态是否良好。

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