公开(公告)号：CN1689684A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510059546.5

申请日：2005-03-29

Applicant: 三洋电机株式会社 ,  三洋水能源科技株式会社

Inventor： 中村崇 ,  柴田悦郎 ,  前田正之 ,  上杉浩之 ,  井关正博 ,  梅泽浩之 ,  对比地元幸

IPC: B01D37/00 ,  F26B5/06 ,  C04B35/622 ,  B24B57/02 ,  H01L21/304

Abstract: 一种粉末制造装置，其由：处理CMP废水的过滤装置10和把通过过滤装置10浓缩至高浓度的淤浆加以干燥的真空冷冻干燥装置20构成，在过滤装置10中，在孔径0.25μm的过滤膜表面上至少设置1块或1块以上形成了凝胶层的凝胶过滤膜的膜组件12。另外，通过泵14从膜组件12的凝胶过滤膜内抽吸废水。把从过滤装置10得到的高浓度淤浆直接供给各种用途，或通过传送泵16传送至真空冷冻干燥装置20进行干燥，得到粉末。