公开(公告)号：CN101042972A

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200710087484.8

申请日：2007-03-19

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 安商爀 ,  李相祚 ,  褚柄佶 ,  全祥皓 ,  赵珍熙 ,  洪秀奉

IPC: H01J29/04 ,  H01J29/08 ,  H01J1/304 ,  H01J9/00 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J1/3042 ,  H01J3/022 ,  H01J31/127

Abstract: 本发明提供一种电子发射装置，其包括：第一电极；形成于所述第一电极上的电子发射区域；和位于所述第一电极上的第二电极，其中一绝缘层介于所述第一和第二电极之间。该绝缘层和第二电极被设置以用于暴露出所述电子发射区域的开口。本发明还提供一种制造方法，包括：在所述第二电极上形成带有开口的掩模层；通过使用所述掩模层蚀刻该第二电极，形成第二电极上的开口；通过湿式蚀刻所述绝缘层，在所述绝缘层中形成开口，该绝缘层中的开口的上宽度大于第二电极中开口的宽度；通过蚀刻第二电极的与绝缘层中的开口相对应的暴露部分，扩大所述第二电极中的开口；并且去除所述掩模层。