抖动修正评价系统及其方法

    公开(公告)号:CN104853179A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201410210403.9

    申请日:2014-05-16

    Inventor: 金正植 朴明在

    Abstract: 本发明涉及抖动修正评价系统及其方法,提供一种抖动修正评价系统及其方法,所述抖动修正评价系统包括:样品图案部,包括具备多个点标记的样品图案;振动产生装置,在以使成为评价对象的摄影装置静止的方式进行支撑的状态下,基于模式波形使摄影装置振动;以及图像处理装置,接收在静止状态下所述摄影装置对所述样品图案部进行摄影而获取的第一摄影影像和在振动状态下所述摄影装置在抖动修正功能工作的状况下对样品图案部进行摄影而获取的第二摄影影像,对抖动修正功能进行评价。

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