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公开(公告)号：CN105004276A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201410377254.5
申请日：2014-08-01
Applicant: 三星电机株式会社
Inventor： 成乐铉 , 金玟姃 , 郑在然
IPC: G01B11/12
CPC classification number: G01B11/12
Abstract: 提供一种用于测量内径的设备，所述设备包括：光学单元，用于将光照射到将被测量的对象上，并从所述对象接收光；辅助测量构件，插入到所述对象中，以提高测量精度；计算单元，通过从所述对象的内周表面反射并接收的光与从辅助测量构件的外周表面反射并接收的光之间的干涉来计算所述对象的内径。
