半导体存储器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117769247A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202311240239.1

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 提供了一种半导体存储器件。该半导体存储器件包括基板,该基板包括具有由单元元件隔离层限定的有源区的单元区、在单元区附近的外围区以及在单元区和外围区之间的边界区。该器件包括:字线结构,在基板中并在第一方向上延伸;位线结构,在基板上在与第一方向交叉的第二方向上从单元区延伸到边界区,包括依次堆叠在基板上的第一单元导电层和第二单元导电层;以及位线接触,在基板和位线结构之间并将基板与位线结构连接。边界区中的第二单元导电层比单元区中的第二单元导电层厚。

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