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公开(公告)号:CN1091259C
公开(公告)日:2002-09-18
申请号:CN97121820.X
申请日:1997-11-28
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01R31/26 , G01R31/3181
CPC classification number: G01R31/01 , G01R31/31908
Abstract: 本发明涉及一种用于检测用以确定待测半导体器件是好还是失效的测试系统的测试设备操作错误的方法。本方法包括周期性地把数据输入到器件的步骤及检查能否读出原封不动的数据,以检测该测试设备的操作错误。
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