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公开(公告)号：CN118053845A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202311157492.0
申请日：2023-09-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/528
Abstract: 一种集成电路器件包括：鳍型有源区域，其包括在第一横向方向上隔着接触空间彼此分开的第一鳍部分和第二鳍部分；第一源极/漏极区域，其在鳍型有源区域上位于在竖直方向上与接触空间重叠的位置处；栅极线，其在第一鳍部分上；器件隔离膜，其覆盖第一鳍部分和第二鳍部分中的每一个的两个侧壁并且限定接触空间的宽度；背面源极/漏极接触件，其电连接到第一源极/漏极区域，填充接触空间，并且具有面向第一鳍部分和第二鳍部分和器件隔离膜中的每一个的侧壁；以及蚀刻停止层，其在第一鳍部分和栅极线之间接触第一鳍部分和第二鳍部分中的每一个的顶表面。
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