制造平板显示器的系统和方法

    公开(公告)号:CN100552503C

    公开(公告)日:2009-10-21

    申请号:CN200510084835.0

    申请日:2005-07-18

    Inventor: 郑相基

    CPC classification number: G03F7/70733 G03F7/70741 G03F7/70791

    Abstract: 本发明涉及制造平板显示器的系统的方法。该系统包括:第一掩模装载/卸载部分,用于装载或卸载至少一个掩模;主掩模工作台,用于接收掩模;第一掩模传送器,用于将掩模从第一掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上;第二掩模装载/卸载部分,设置从第一掩模装载/卸载部分分开预定的距离;和第二掩模传送器,用于将掩模从第二掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上。该系统可以减少用于制造平板显示器更换掩模所需的时间。

    制造平板显示器的系统和方法

    公开(公告)号:CN1725076A

    公开(公告)日:2006-01-25

    申请号:CN200510084835.0

    申请日:2005-07-18

    Inventor: 郑相基

    CPC classification number: G03F7/70733 G03F7/70741 G03F7/70791

    Abstract: 本发明涉及制造平板显示器的系统的方法。该系统包括:第一掩模装载/卸载部分,用于装载或卸载至少一个掩模;主掩模工作台,用于接收掩模;第一掩模传送器,用于将掩模从第一掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上;第二掩模装载/卸载部分,设置从第一掩模装载/卸载部分分开预定的距离;和第二掩模传送器,用于将掩模从第二掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上。该系统可以减少用于制造平板显示器更换掩模所需的时间。

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