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公开(公告)号:CN100552503C
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200510084835.0
申请日:2005-07-18
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 郑相基
IPC: G02F1/1333 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70741 , G03F7/70791
Abstract: 本发明涉及制造平板显示器的系统的方法。该系统包括:第一掩模装载/卸载部分,用于装载或卸载至少一个掩模;主掩模工作台,用于接收掩模;第一掩模传送器,用于将掩模从第一掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上;第二掩模装载/卸载部分,设置从第一掩模装载/卸载部分分开预定的距离;和第二掩模传送器,用于将掩模从第二掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上。该系统可以减少用于制造平板显示器更换掩模所需的时间。
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公开(公告)号:CN1725076A
公开(公告)日:2006-01-25
申请号:CN200510084835.0
申请日:2005-07-18
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 郑相基
IPC: G02F1/1333 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70741 , G03F7/70791
Abstract: 本发明涉及制造平板显示器的系统的方法。该系统包括:第一掩模装载/卸载部分,用于装载或卸载至少一个掩模;主掩模工作台,用于接收掩模;第一掩模传送器,用于将掩模从第一掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上;第二掩模装载/卸载部分,设置从第一掩模装载/卸载部分分开预定的距离;和第二掩模传送器,用于将掩模从第二掩模装载/卸载部分传送到主掩模工作台上。该系统可以减少用于制造平板显示器更换掩模所需的时间。
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