公开(公告)号：CN1211708C

公开(公告)日：2005-07-20

申请号：CN00118160.2

申请日：2000-03-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金永虎 ,  郑会式 ,  全相文 ,  李富燮

IPC: G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0236

Abstract: 本发明公开了一种具有改善的感光度和分辨率的正性光刻胶组合物，该组合物的制备方法，以及在半导体工艺中使用该组合物形成图纹的方法。该光刻胶组合物包括：(i)由用分子式(1)表示的第一种感光化合物和用分子式(2a)或(2b)表示的第二种感光化合物混合得到的感光物质；(ii)树脂；和(iii)溶剂。由于该光刻胶组合物的高感光度和高分辨率，本发明可以制作具有特别优异轮廓的图纹。

公开(公告)号：CN1282004A

公开(公告)日：2001-01-31

申请号：CN00118160.2

申请日：2000-03-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金永虎 ,  郑会式 ,  全相文 ,  李富燮

IPC: G03F7/012

CPC classification number: G03F7/0236

Abstract: 本发明公开了一种具有改善的感光度和分辨率的正性光刻胶组合物,该组合物的制备方法,以及在半导体工艺中使用该组合物形成图纹的方法。该光刻胶组合物包括:(i)由用分子式(1)表示的第一种感光化合物和用分子式(2a)或(2b)表示的第二种感光化合物混合得到的感光物质;(ii)树脂;和(iii)溶剂。由于该光刻胶组合物的高感光度和高分辨率,本发明可以制作具有特别优异轮廓的图纹。