差动式螺线管磁场检测装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1246619A

    公开(公告)日:2000-03-08

    申请号:CN99111656.9

    申请日:1999-07-07

    Inventor: 崔相彦 赵汉基

    CPC classification number: G01R33/04 H01F17/0013 H01F17/0033

    Abstract: 一种差动式螺线管磁场检测装置,是一种以微观尺寸制造的磁场检测器,其构成包括:层叠在半导体基片上的两个软磁性薄膜式磁芯,由按数字“8”的形状卷绕的金属薄膜图形构成的、用于对软磁性薄膜式磁芯交替激磁的激磁线圈,以及由螺旋形卷绕的金属薄膜图形形成的磁通变化检测线圈。由于两个磁通变化检测线圈构成闭合的磁通路,漏磁通可以降到最少。此外,该磁场检测装置是一种差动式磁场检测器,各驱动信号,组合后可以抵减。

    差动式螺旋形磁场感测装置和使用该装置的磁场检测组件

    公开(公告)号:CN1114111C

    公开(公告)日:2003-07-09

    申请号:CN99119329.6

    申请日:1999-07-28

    Inventor: 崔相彦 赵汉基

    CPC classification number: G01R33/04

    Abstract: 差动式螺旋形磁场感测装置包括设置成彼此平行的两个软磁薄片式磁心,为减少反磁场分量将每个软磁薄片式磁心在检测轴的方向上分成几部分,差动激磁线圈、磁通变化检测线圈和零磁场检测线圈一匝一匝地层压并缠绕在软磁薄片式磁心周围,并且没有外加磁场时不会由于磁通变化检测线圈产生电压波形。此外,为使软磁薄片式磁心的漏磁分量最小,将软磁薄片式磁心夹在中间以形成闭合磁路。

    差动式螺线管磁场检测装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1114110C

    公开(公告)日:2003-07-09

    申请号:CN99111656.9

    申请日:1999-07-07

    Inventor: 崔相彦 赵汉基

    CPC classification number: G01R33/04 H01F17/0013 H01F17/0033

    Abstract: 一种差动式螺线管磁场检测装置,是一种以微观尺寸制造的磁场检测器,其构成包括:层叠在半导体基片上的两个软磁性薄膜式磁芯,由按数字“8”的形状卷绕的金属薄膜图形构成的、用于对软磁性薄膜式磁芯交替激磁的激磁线圈,以及由螺旋形卷绕的金属薄膜图形形成的磁通变化检测线圈。由于两个磁通变化检测线圈构成闭合的磁通路,漏磁通可以降到最少。此外,该磁场检测装置是一种差动式磁场检测器,各驱动信号组合后可以抵减。

    差动式螺旋形磁场感测装置和使用该装置的磁场检测组件

    公开(公告)号:CN1244664A

    公开(公告)日:2000-02-16

    申请号:CN99119329.6

    申请日:1999-07-28

    Inventor: 崔相彦 赵汉基

    CPC classification number: G01R33/04

    Abstract: 差动式螺旋形磁场感测装置包括设置成彼此平行的两个软磁薄片式磁心,为减少反磁场分量将每个软磁薄片式磁心在检测轴的方向上分成几部分,差动激励线圈、磁通变化检测线圈和零磁场检测线圈一匝一匝地层压并缠绕在软磁薄片式磁心周围,并且没有外加磁场时不会由于磁通变化检测线圈产生电压波形。此外,为使软磁薄片式磁心的漏磁分量最小,将软磁薄片式磁心夹在中间以形成闭合磁路。

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