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公开(公告)号：CN105448789A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510589858.0
申请日：2015-09-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: B24B37/32 , H01L21/67766
Abstract: 提供一种保持器和包括该保持器的晶圆载具。一种用于晶圆载具的保持器，包括：主体，包括多个槽，所述多个槽被配置为接收晶圆的侧面；针对所述多个槽中的每个槽，支撑结构形成在槽的侧壁上并被配置为与相应晶圆的侧面接触，支撑结构与相应晶圆的侧面的上拐角隔开。
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