公开(公告)号：CN116621275A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310126476.9

申请日：2023-02-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李镕在 ,  柳相薰 ,  李厚澈 ,  崔秉赞 ,  张智恩

IPC: C02F1/42 ,  C02F9/00 ,  B01J49/00 ,  B01J49/60 ,  C02F1/02 ,  C02F1/32 ,  C02F1/20 ,  C02F1/44 ,  C02F103/04

Abstract: 一种超纯水(UPW)生产设施，包括：抛光器，填充有离子交换树脂；流入管线；流入阀，连接到流入管线和抛光器的上游；流出管线；流出阀，连接到流出管线和抛光器的下游；第一排水管线，连接到抛光器；第一排水阀，连接到第一排水管线和抛光器下游；第二排水管线，从流出管线分支；第二排水阀，连接到第二排水管线；排放管线，从第二排水管线分支；排放阀，连接到排放管线，其中，流入阀、流出阀、第一排水阀、第二排水阀和排放阀为自动阀。