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公开(公告)号:CN116639827A
公开(公告)日:2023-08-25
申请号:CN202310135642.1
申请日:2023-02-20
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种超纯水生产设施包括:连接至纯水储水罐的供应线,并且在其中依次布置有多个纯水处理装置;分支在供应线的下游并且连接至纯水储水罐的支线;以及连接至支线并且被配置为由双作用致动器致动的第一自动阀门。
公开(公告)号:CN116639827A
公开(公告)日:2023-08-25
申请号:CN202310135642.1
申请日:2023-02-20
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种超纯水生产设施包括:连接至纯水储水罐的供应线,并且在其中依次布置有多个纯水处理装置;分支在供应线的下游并且连接至纯水储水罐的支线;以及连接至支线并且被配置为由双作用致动器致动的第一自动阀门。