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公开(公告)号:CN1298918A
公开(公告)日:2001-06-13
申请号:CN99127834.8
申请日:1999-12-30
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: C09K19/38
CPC分类号: G02F1/133711
摘要: 本发明涉及液晶排列材料的再生方法,其中与LCD液晶加工中原始液晶排列材料等效的再生液晶排列层可通过收集排列材料的废溶液而再生,该废溶液是在使用液晶排列材料的LCD制造过程中大量产生的。通过将排列材料的废溶液放入一种有机溶剂或超纯水中而固化聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,液晶排列材料组分聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺不溶于该有机溶剂或超纯水中,从有机溶剂或者超纯水分离聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,并将所分离的固体聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺溶解在一种溶剂中而做到这一点。用此方法再生液晶排列层材料能大大有助于降低生产成本。
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公开(公告)号:CN1231612C
公开(公告)日:2005-12-14
申请号:CN99120400.X
申请日:1999-09-24
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: C23F1/02
CPC分类号: H01L21/67253 , C23F1/02 , C23F1/08
摘要: 一种蚀刻系统及方法,利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层而形成预定的图案时,根据基板的累积处理数目变化而采用不同的蚀刻时间。此系统包括:一蚀刻设备,其包括为了利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层,从而形成预定的图案的蚀刻处理部和为了临时储藏内装有基板的卡匣的装载部;及一控制部,控制上述蚀刻设备的作业过程,该蚀刻设备是根据基板的累积处理数目不同,而采用不同的蚀刻时间。
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公开(公告)号:CN1252457A
公开(公告)日:2000-05-10
申请号:CN99120400.X
申请日:1999-09-24
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: C23F1/00
CPC分类号: H01L21/67253 , C23F1/02 , C23F1/08
摘要: 一种蚀刻系统及方法,利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层而形成预定的图案时,根据基板的累积处理数目变化而采用不同的蚀刻时间。此系统包括:一蚀刻设备,其包括为了利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层,从而形成预定的图案的蚀刻处理部和为了临时储藏内装有基板的卡匣的装载部;及一控制部,控制上述蚀刻设备的作业过程,该蚀刻设备是根据基板的累积处理数目不同,而采用不同的蚀刻时间。
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公开(公告)号:CN1214279C
公开(公告)日:2005-08-10
申请号:CN99127834.8
申请日:1999-12-30
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: G02F1/1337 , C08J11/04 , C09K19/38
CPC分类号: G02F1/133711
摘要: 本发明涉及液晶排列材料的再生方法,其中与LCD液晶加工中原始液晶排列材料等效的再生液晶排列层可通过收集排列材料的废溶液而再生,该废溶液是在使用液晶排列材料的LCD制造过程中大量产生的。通过将排列材料的废溶液放入一种有机溶剂或超纯水中而固化聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,液晶排列材料组分聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺不溶于该有机溶剂或超纯水中,从有机溶剂或者超纯水分离聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,并将所分离的固体聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺溶解在一种溶剂中而做到这一点。用此方法再生液晶排列层材料能大大有助于降低生产成本。
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