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公开(公告)号：CN116009431A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211028406.1
申请日：2022-08-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G05B19/042 , H03M1/66
Abstract: 提供了一种监视电路和工艺特性监视方法。该监视电路包括：传感器电路，其具有多个装置和选择电路，选择电路选择多个装置之中的要被监视的装置；输入电路，其基于输入数字数据将第一信号施加到要被监视的装置；以及输出电路，其基于由传感器电路生成的第二信号生成输出数字数据。输入电路包括数模转换器，并且输出电路包括模数转换器。
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