应用电容测量射频信号功率的射频功率传感器

    公开(公告)号:CN1213306C

    公开(公告)日:2005-08-03

    申请号:CN03138453.6

    申请日:2003-04-16

    CPC classification number: G01R21/00 G01R1/06772

    Abstract: 应用电容测量射频信号功率的射频功率传感器包括:最好用半导体形成的基底,如,硅,或电介质材料构成,固定在基底上的固定部件构成用于传输射频信号的信号线及地线,以及跨越信号线连接在地线间的桥体,其中桥体受到外驱动力的作用,外驱动力在桥体与信号线之间感应电容。相应地,通过信号线与桥体之间的电容测量射频信号功率。射频功率传感器促进匹配,减少插入损耗,由于其基于传输线路所具有的特性阻抗,可以在非常宽频带中使用。根据对桥体所进行的设计还可对大功率进行测量。

    静电射频微电机械系统开关

    公开(公告)号:CN1485873A

    公开(公告)日:2004-03-31

    申请号:CN03154570.X

    申请日:2003-08-19

    CPC classification number: H01P1/127 H01H57/00 H01H59/0009 H01H2057/006

    Abstract: 一种微型开关,包括:形成在基底上的电介质层,该电介质层具有移动区;导电层,形成在移动区的预定部分上;电介质薄膜,形成在导电层上;第一和第二电导体,在电介质薄膜的上方的预定距离形成;一个或两个下电极,形成在移动区上;以及一个或两个上电极,在下电极上方的预定距离形成,当在上电极和下电极之间产生静电力时,两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动,并且使第一和第二电导体电容联接,以便使电流在第一和第二电导体之间流动。这种微型开关的通断率和隔离度高,结构简单,并且可以以非常简单的加工过程制造。

    静电射频微电机械系统开关

    公开(公告)号:CN1314063C

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN03154570.X

    申请日:2003-08-19

    CPC classification number: H01P1/127 H01H57/00 H01H59/0009 H01H2057/006

    Abstract: 一种微型开关,包括:形成在基底上的电介质层,该电介质层具有移动区;导电层,形成在移动区的预定部分上;电介质薄膜,形成在导电层上;第一和第二电导体,在电介质薄膜的上方的预定距离形成;一个或两个下电极,形成在移动区上;以及一个或两个上电极,在下电极上方的预定距离形成,当在上电极和下电极之间产生静电力时,两个上电极导致导电层和电介质薄膜向上移动,并且使第一和第二电导体电容联接,以便使电流在第一和第二电导体之间流动。这种微型开关的通断率和隔离度高,结构简单,并且可以以非常简单的加工过程制造。

    应用电容测量射频信号功率的射频功率传感器

    公开(公告)号:CN1455261A

    公开(公告)日:2003-11-12

    申请号:CN03138453.6

    申请日:2003-04-16

    CPC classification number: G01R21/00 G01R1/06772

    Abstract: 应用电容测量射频信号功率的射频功率传感器包括:最好用半导体形成的基底,如硅,或电介质材料构成,固定在基底上的固定部件构成用于传输射频信号的信号线及地线,以及跨越信号线连接在地线间的桥体,其中桥体受到外驱动力的作用,外驱动力在桥体与信号线之间感应电容。相应地,通过信号线与桥体之间的电容测量射频信号功率。射频功率传感器促进匹配,减少插入损耗,由于其基于传输线路所具有的特性阻抗,可以在非常宽频带中使用。根据对桥体所进行的设计还可对大功率进行测量。

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