公开(公告)号：CN1206117A

公开(公告)日：1999-01-27

申请号：CN98103044.0

申请日：1998-07-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 章洙宁 ,  郭京昊 ,  崔普勋

IPC: G02B6/34

CPC classification number: G03F7/001 ,  G02B6/02095 ,  G02B6/02142 ,  G03F1/50

Abstract: 一种用于长周期光栅滤波器制作装置的振幅掩模,包括:一个具有周期性选择透光的透过区和不透光的非透过区的金属基片;和一个形成在该金属基片非透过区上,用于改变透过区周期的压电变频器。该透过区形成在金属基片的中间,压电变频器形成在透过区的上方和下方。多个压电变频器形成在非透过区上,以改变透过区的周期。

公开(公告)号：CN1120991C

公开(公告)日：2003-09-10

申请号：CN98103044.0

申请日：1998-07-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 章絑宁 ,  郭京昊 ,  崔普勋

IPC: G02B6/34

CPC classification number: G03F7/001 ,  G02B6/02095 ,  G02B6/02142 ,  G03F1/50

Abstract: 一种用于长周期光栅滤波器制作装置的振幅掩模，包括：一个具有周期性选择透光的透过区和不透光的非透过区的金属基片；和一个形成在该金属基片非透过区上，用于改变透过区周期的压电变频器。该透过区形成在金属基片的中间，压电变频器形成在透过区的上方和下方。多个压电变频器形成在非透过区上，以改变透过区的周期。