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公开(公告)号:CN1590251A
公开(公告)日:2005-03-09
申请号:CN200410074215.4
申请日:2004-09-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B65G49/05
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2207/06 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供了一种能够安全传送和高效处理基片的并行传送系统和方法,如玻璃基片或半导体装置。其包括含有多个空气喷嘴的旋转式传送器,多个空气喷嘴无须接触基片即可注入空气使空气喷嘴上面的基片移动。旋转式传送器上至少需要两个单独的处理单元可操作地结合在一起。其优越性在于,由于可以同时处理多个基片,效率更高,适应性更强。因为在空气喷嘴结构和基片之间无须物理接触即可移动基片,所以传送安全、干净、且有效。
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公开(公告)号:CN100590043C
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200410074215.4
申请日:2004-09-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B65G49/05
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2207/06 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供了一种能够安全传送和高效处理基片的并行传送系统和方法,如玻璃基片或半导体装置。其包括含有多个空气喷嘴的旋转式传送器,多个空气喷嘴无须接触基片即可注入空气使空气喷嘴上面的基片移动。旋转式传送器上至少需要两个单独的处理单元可操作地结合在一起。其优越性在于,由于可以同时处理多个基片,效率更高,适应性更强。因为在空气喷嘴结构和基片之间无须物理接触即可移动基片,所以传送安全、干净、且有效。
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公开(公告)号:CN100516984C
公开(公告)日:2009-07-22
申请号:CN200410057231.2
申请日:2004-08-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/133
CPC classification number: H01L21/67784 , F26B15/12 , F26B25/004
Abstract: 本发明提供了一种传送系统,该传送系统包括支撑板、在该支撑板上形成并喷射空气以移送传送部件的多个空气喷嘴。
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公开(公告)号:CN1897477A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200610093721.7
申请日:2006-05-29
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G05B23/0267 , G05B2219/25186 , G05B2219/31433 , G05B2219/31448 , G05B2219/45031 , H04W8/02 , H04W84/12
Abstract: 为了在生产线中自动执行制造半导体、TFT-LCD的过程,向安排在各个设施上的工人提供短距离无线(SRW)终端,以根据SRW通信协议实现信号传输,并且SRW接入点设置在生产线中的预定位置上。各个SRW终端通过相关区域上的SRW接入点连接到中央控制服务器,并通过中央控制服务器将关于多个其他终端的呼叫切换提供到SRW接入点。当检测到设施异常时,将异常的发生通知给负责人的SRW终端,以快速处理异常。切换在SRW接入点之间选择性地进行,以便工人即使在移动的时候也能连续不断地保持通信。因此,对于用于自动执行制造半导体、TFT-LCD过程的生产线,使用局部区域的SRW通信技术可在工人之间实现流畅的相互通信和工作协作。
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公开(公告)号:CN1895971A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200610093871.8
申请日:2006-06-20
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B65G35/06 , B65G2201/022 , H01L21/67709 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67766 , H01L21/67778
Abstract: 一种用于在平板显示器生产线的处理站之间传送平板显示器的衬底的系统。该系统包括:传送其中装载衬底的传送容器的传送装置;容器装载和卸载装置,该容器装载和卸载装置将容器装载在传送装置上并从传送装置卸载容器;和衬底装载和卸载装置,该衬底装载和卸载装置在容器和位于各个站处的处理设备之间传送衬底。该传送装置包括:安装在设施地板上的轨道;和利用直线电动机沿轨道可编程运动的多个轮式车。该系统能够使衬底传送时间得到实质减小,并在整个传送过程提供对衬底的坚固保护。
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公开(公告)号:CN1584682A
公开(公告)日:2005-02-23
申请号:CN200410057231.2
申请日:2004-08-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/133
CPC classification number: H01L21/67784 , F26B15/12 , F26B25/004
Abstract: 本发明提供了一种传送系统,该传送系统包括支撑板、在该支撑板上形成并喷射或吸入空气以移送传送部件的多个空气喷嘴。
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