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公开(公告)号:CN100373578C
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200510077400.3
申请日:2005-06-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/20 , G02F1/133 , C23C16/458
CPC classification number: B23Q1/012 , B23Q1/626 , B23Q2210/006
Abstract: 一种台架设备包括:一对第一引导件,相互平行地放置;一对滑动件,分别结合到所述一对第一引导件上以与该第一引导件一起移动;第二引导件,结合到所述一对滑动件上沿着该滑动件移动;头部,结合到所述第二引导件上以便和所述第二引导件一起移动并沿着该第二引导件移动;转动单元,设置在所述滑动件和所述第二引导件之间并绕着轴线转动所述第二引导件,所述轴线与所述滑动件和所述头部的移动方向垂直。所述台架设备能够在不同的方向调整所述头部的运动。
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公开(公告)号:CN100480802C
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200610136333.2
申请日:2006-10-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1333 , B41J2/01
Abstract: 本发明涉及一种用于对具有多个印刷作业用喷嘴的印刷头进行对准作业的对准装置及其方法,本发明所提供的对准装置包含:用于支持并移送所述印刷头的印刷头移送部;以透明的形态设在所述印刷头下方并具有可拍摄的预定的样片标记的透明样片;设在所述透明样片的下方而拍摄所述透明样片的样片标记的第一相机;与所述印刷头相结合而拍摄所述透明样片的样片标记的第二相机;控制部,通过比较所述第一相机及所述第二相机所拍摄的图像而控制所述印刷头移送部,以使所述第二相机对准所述第一相机。因此,可以较准确并简便地进行基片与印刷头的对准工作。
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公开(公告)号:CN1963617A
公开(公告)日:2007-05-16
申请号:CN200610136333.2
申请日:2006-10-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1333 , B41J2/01
Abstract: 本发明涉及一种用于对具有多个印刷作业用喷嘴的印刷头进行对准作业的对准装置及其方法,本发明所提供的对准装置包含:用于支持并移送所述印刷头的印刷头移送部;以透明的形态设在所述印刷头下方并具有可拍摄的预定的样片标记的透明样片;设在所述透明样片的下方而拍摄所述透明样片的样片标记的第一相机;与所述印刷头相结合而拍摄所述透明样片的样片标记的第二相机;控制部,通过比较所述第一相机及所述第二相机所拍摄的图像而控制所述印刷头移送部,以使所述第二相机对准所述第一相机。因此,可以较准确并简便地进行基片与印刷头的对准工作。
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公开(公告)号:CN1713365A
公开(公告)日:2005-12-28
申请号:CN200510077400.3
申请日:2005-06-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/20 , G02F1/133 , C23C16/458
CPC classification number: B23Q1/012 , B23Q1/626 , B23Q2210/006
Abstract: 一种台架设备包括:一对第一引导件,相互平行地放置;一对滑动件,分别结合到所述一对第一引导件上以与该第一引导件一起移动;第二引导件,结合到所述一对滑动件上沿着该滑动件移动;头部,结合到所述第二引导件上以便和所述第二引导件一起移动并沿着该第二引导件移动;转动单元,设置在所述滑动件和所述第二引导件之间并绕着轴线转动所述第二引导件,所述轴线与所述滑动件和所述头部的移动方向垂直。所述台架设备能够在不同的方向调整所述头部的运动。
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