驱动信号供应装置及其驱动信号校准方法

    公开(公告)号:CN119448981A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202410574286.8

    申请日:2024-05-10

    Abstract: 公开了驱动信号供应装置及其驱动信号校准方法。所述驱动信号供应装置包括振荡电路、驱动信号生成电路和控制电路。振荡电路包括各自包括反相器的多个振荡器并且输出多个振荡信号。包括在所述多个振荡器中的一个振荡器中的每个反相器的开关特性不同于包括在所述多个振荡器中的另一个振荡器中的每个反相器的开关特性。控制电路基于所述多个振荡信号检测半导体装置的工艺角以生成控制信号。驱动信号生成电路基于控制信号生成半导体装置的驱动信号。

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