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公开(公告)号：CN106497569A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610796482.5
申请日：2016-08-31
IPC: C09K13/06 , H01L21/3213
Abstract: 本发明公开一种蚀刻液组合物以及利用它的薄膜晶体管显示板的制造方法。根据本发明的一实施例的蚀刻液组合物可以包含5重量％以上且20重量％以下的硝酸、1重量％以上且15重量％以下的醋酸、0.1重量％以上且5重量％以下的醋酸盐、0.1重量％以上且4重量％以下的含卤化合物及使全部组合物的总重量成为100重量％的水。
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