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公开(公告)号:CN102013442A
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN201010243574.3
申请日:2010-07-29
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: H01L31/042 , H01L31/0216 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/1884 , H01L31/022483 , H01L31/0392 , Y02E10/50
Abstract: 一种光伏电池衬底及其制造方法。所述光伏电池衬底包括透明衬底和透明导电膜。透明导电膜包括掺有杂质的氧化锌(ZnO)且被形成在所述透明衬底之上。表面电荷激活层通过快速热退火被形成在所述透明导电膜的表面上。