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发明公开
具有定向平面的单晶A－平面氮化物半导体晶片失效转让

公开(公告)号：CN1958887A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610150276.3

申请日：2006-10-18

Applicant: 三星康宁株式会社

Inventor： 申铉敏 , 李起秀

IPC: C30B29/40 , C30B29/38 , C30B25/02 , H01L21/205 , H01L33/00 , H01S3/16

CPC classification number: C30B29/40 , C30B25/02

Abstract: 一种单晶a－平面氮化物半导体晶片，其包括在结晶生长方向上的1－3个定向平面，其中a－平面({11－20}平面)形成为主平面。由于可以容易地识别平面定向，因而当在氮化物半导体晶片上形成半导体器件时可以改善精确度。

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