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公开(公告)号:CN1680510A
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:CN200510067780.2
申请日:2005-03-16
Applicant: 三星康宁株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09K3/1463 , C09G1/02
Abstract: 一种不附聚的氧化铈含水浆料,其具有良好的分散稳定性和优异的抛光生产率并产生较少的划痕,其包含体积平均颗粒尺寸为0.1到0.2μm的氧化铈颗粒,且其特征在于当在1970g0的平均离心力(g)的作用下离心2分钟后,所述含水浆料中的固体含量降低20重量%或更少,其中g0代表重力加速度。