利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长方法

    公开(公告)号:CN118186573A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410456829.6

    申请日:2024-04-16

    IPC分类号: C30B17/00 C30B29/20 C30B33/02

    摘要: 本发明提供一种利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长方法,属于晶体生长技术领域。所述生长方法包括以下步骤:(1)将坩埚放置在掺杂蓝宝石生长装置中保温装置的保温腔内;(2)通过控制主加热器,控制坩埚内的掺杂氧化铝原料融化成熔体程度以及间接控制坩埚底部的籽晶融化程度;(3)通过控制加热导热板的副加热器的功率,精确控制籽晶融化程度;(4)控制主加热器开始降温,在降温完成后移动冷却杆使得开始下降坩埚,同时缓慢打开坩埚底部的保温装置的底部保温部和侧保温筒之间的间隙,直至晶体生长完成;(5)进入退火程序。

    利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长装置

    公开(公告)号:CN221988721U

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202420786781.0

    申请日:2024-04-16

    IPC分类号: C30B17/00 C30B29/20 C30B33/02

    摘要: 本实用新型提供一种利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长装置,属于晶体生长技术领域。所述掺杂蓝宝石生长装置包括:坩埚,所述坩埚内放置有蓝宝石原料和蓝宝石籽晶;保温装置,所述保温装置设置有用于容纳坩埚的保温腔;主加热器,所述主加热器配置成位于保温腔的内部并产生热辐射通过热对流的方式把坩埚内的掺杂氧化铝原料融化变成熔体;导热板,所述导热板设置成穿过保温装置的底部并且导热板的上端接触坩埚的底部;副加热器,所述副加热器设置在保温装置的下部中并围绕导热板;冷却杆,所述冷却杆的上端与导热板的下端固定连接;升降机构,所述升降机构的内部容纳冷却杆,并且升降机构与冷却杆固定连接,驱动冷却杆和导热板上下移动。

    掺杂蓝宝石生长装置
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221940686U

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202420786780.6

    申请日:2024-04-16

    IPC分类号: C30B17/00 C30B29/20 C30B33/02

    摘要: 本实用新型提供一种掺杂蓝宝石生长装置,属于晶体生长技术领域。掺杂蓝宝石生长装置包括:坩埚,所述坩埚内放置有蓝宝石原料和蓝宝石籽晶;保温装置,所述保温装置设置有用于容纳坩埚的保温腔;加热器,所述加热器配置成在保温腔的内部并产生热辐射通过热对流的方式把坩埚内的蓝宝石原料融化变成熔体;冷却杆或热交换杆,所述冷却杆或热交换杆的上端设置成穿过保温装置的底部并且接触坩埚的底部;第一升降机构,所述第一升降机构的内部容纳冷却杆或热交换杆,并且第一升降机构与冷却杆固定连接,驱动冷却杆上下移动。