公开(公告)号：CN110770191A

公开(公告)日：2020-02-07

申请号：CN201880041330.1

申请日：2018-08-29

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 寺村享祐 ,  深川功儿

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/34 ,  H01L21/203

Abstract: 实施方式的一个方案的氧化物烧结体是以满足以下的式(1)～(3)的比率含有铟、镓和锌的氧化物烧结体，其由单相的晶体相构成，晶体相的平均粒径为15.0μm以下。0.01≤In/(In+Ga+Zn)＜0.20(1)；0.10≤Ga/(In+Ga+Zn)≤0.49(2)；0.50≤Zn/(In+Ga+Zn)≤0.89(3)。

公开(公告)号：CN110770191B

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN201880041330.1

申请日：2018-08-29

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 寺村享祐 ,  深川功儿

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/34 ,  H01L21/203

Abstract: 实施方式的一个方案的氧化物烧结体是以满足以下的式(1)～(3)的比率含有铟、镓和锌的氧化物烧结体，其由单相的晶体相构成，晶体相的平均粒径为15.0μm以下。0.01≤In/(In+Ga+Zn)＜0.20(1)0.10≤Ga/(In+Ga+Zn)≤0.49(2)0.50≤Zn/(In+Ga+Zn)≤0.89(3)。